今天，記者從國防科技大學了解到，機電工程及自動化學院自主研發的新一代超精密光學配件加工設備已通過相關單位組織的工藝評定。結果表明，該套設備的加工精度達到了亞納米水平的重大突破，典型試件光學零件的均方根方根值達到了0.361 nm，表明我國超精密光學零件加工技術已進入[敏感詞]行列。

超精密加工技術是先進裝備制造的關鍵瓶頸技術，而納米精度被譽為超精密加工技術的“皇冠上的寶石”。過去，由于我國光學零件加工技術落后，無法加工大直徑、高精度、復雜表面形狀的光學配件，嚴重制約了相關領域的技術進步。自20世紀80年代以來，在李圣怡，教授的領導下，經過30多年的頑強拼搏和自主創新，大學精密工程創新團隊突破了高精度機床精密運動機構設計、高效磁流變拋光液制備、離子束穩定控制、光學元件亞納米全波段誤差控制等核心關鍵技術。開發了一系列具有自主知識產權的磁流變和離子束拋光設備，打破了發達[敏感詞]對超精密加工設備的技術封鎖，使中國成為繼美和德之后掌握兩項高精密光學配件加工技術的[敏感詞]。

近年來，在[敏感詞]重大科技專項“大規模集成電路制造設備及完整工藝”和[敏感詞]自然科學基金的支持下，該大學精密工程創新團隊成功研制出新一代離子束拋光機床和數控光順拋光機床，小可控材料去除量為0.1 nm。相關專家指出，這一自主創新成果可以為“大規模集成電路制造設備及成套工藝”、“高分辨率地球觀測系統”等[敏感詞]重大科技項目提供強有力的技術支持和設備支持，并將直接推動相關領域的關鍵技術突破，對提高我國先進裝備制造水平具有重要意義。