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我們超精密光學配件加工技術進入世界領先

時間:2020-07-10瀏覽次數(shù):4388

今天,記者從國防科技大學了解到,機電工程及自動化學院自主研發(fā)的新一代超精密光學配件加工設備已通過相關單位組織的工藝評定。結果表明,該套設備的加工精度達到了亞納米水平的重大突破,典型試件光學零件的均方根方根值達到了0.361 nm,表明我國超精密光學零件加工技術已進入[敏感詞]行列。


超精密加工技術是先進裝備制造的關鍵瓶頸技術,而納米精度被譽為超精密加工技術的“皇冠上的寶石”。過去,由于我國光學零件加工技術落后,無法加工大直徑、高精度、復雜表面形狀的光學配件,嚴重制約了相關領域的技術進步。自20世紀80年代以來,在李圣怡,教授的領導下,經(jīng)過30多年的頑強拼搏和自主創(chuàng)新,大學精密工程創(chuàng)新團隊突破了高精度機床精密運動機構設計、高效磁流變拋光液制備、離子束穩(wěn)定控制、光學元件亞納米全波段誤差控制等核心關鍵技術。開發(fā)了一系列具有自主知識產權的磁流變和離子束拋光設備,打破了發(fā)達[敏感詞]對超精密加工設備的技術封鎖,使中國成為繼美和德之后掌握兩項高精密光學配件加工技術的[敏感詞]。


近年來,在[敏感詞]重大科技專項“大規(guī)模集成電路制造設備及完整工藝”和[敏感詞]自然科學基金的支持下,該大學精密工程創(chuàng)新團隊成功研制出新一代離子束拋光機床和數(shù)控光順拋光機床,小可控材料去除量為0.1 nm。相關專家指出,這一自主創(chuàng)新成果可以為“大規(guī)模集成電路制造設備及成套工藝”、“高分辨率地球觀測系統(tǒng)”等[敏感詞]重大科技項目提供強有力的技術支持和設備支持,并將直接推動相關領域的關鍵技術突破,對提高我國先進裝備制造水平具有重要意義。

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